JKL PVD mkpuchi isi usoro

(1) Ọgwụgwọ tupu PVD, gụnyere ihicha ihe na ọgwụgwọ mbụ.Ụzọ ihicha kpọmkwem gụnyere ihicha ncha, kemịkalụ ihe mgbaze, nhicha ultrasonic, na ion bombardment ihicha.
(2) Tinye ha n'ime ọkụ, gụnyere ihicha ụlọ na ihe ndozi, na ntinye, ntinye na njikọ nke ihe na ihe ndozi.
(3) Vacuuming, na-agbapụtakarị na 6.6Pa ma ọ bụ karịa, mepee n'ihu nke mgbapụta mgbasa na mbụ iji nọgide na-enwe mgbapụta agụụ ma kpoo mgbapụta mgbasa ozi.Mgbe preheating zuru ezu, a na-emeghe valvụ dị elu ma gbanye ya na 6 x 10-3 Pa ọkara oghere nke nwere mgbapụta mgbasa.
(4) Nri, sie ihe ndị ahụ ka ọ bụrụ okpomọkụ achọrọ.
(5) Ion bombu, oghere bụ n'ozuzu 10 Pa ka 10-1 Pa, ion bombardment voltaji bụ adịghị mma elu voltaji nke 200 V ka 1 KV, na oge ọgụ bụ 15 min ka 30 min.
(6) Na-agbaze, na-edozi ihe dị ugbu a iji gbazee ihe, na-edozi ihe dị ugbu a iji gbazee plating na degassing maka 1min ~ 2min.Nkwado na-ekupụ ọkụ.A na-edozi ikuku evaporation dị ka achọrọ ruo mgbe oge nkwụnye ego achọrọ gwụ.Na-ajụ oyi, a na-eme ka ihe ndị ahụ dị jụụ na ụfọdụ okpomọkụ n'ime oghere oghere.
(7) Mgbe ewepụchara ihe ndị ahụ, a na-emechi ọnụ ụlọ na-ekpo ọkụ, a na-ekpochapụ oghere ahụ na l × l0-1Pa, a na-eme ka mgbapụta mgbasa ozi dị jụụ na okpomọkụ a na-ekwe ka tupu mgbapụta mmezi na mmiri jụrụ oyi nwere ike gbanyụọ.
 


Oge nzipu: Sep-07-2021